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关于冷凝泵的内部构造分析

点击次数:271 发布时间:2022-05-07
  冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。
 
  冷凝泵作用:
 
  1、主要供火力发电厂输送冷凝水之用,亦可用来输送与冷凝水性质类似的介质。
 
  2、冷凝水:也称为凝结水,产生于发电机组中的凝汽器中。
 
  冷凝泵的内部构造:
 
  1、导流板
 
  主要用来凝缩排除水蒸气(H2O)、有机物(CO2)等的气体分子,并用来防止热辐射直接进入辐射罩。
 
  2、辐射罩
 
  辐射罩包裹着冷头,是为了阻挡外来的热辐射。外侧为了反射热辐射,实施了反射率很高的镍喷涂,内侧为了阻挡热辐射反射到冷板,实施了能吸收辐射能的黑化处理涂层。
 
  3、冷板
 
  冷板从功能上分为外表面冷凝排除气体部分和内表面活性炭吸附排除气体部分。O2、N2、Ar等凝缩性气体分子的绝大部分被挡在冷板外表面,并在其表面凝缩,而到达其内表面活性炭的气体分子则极少。H2分子在冷板外表面不被凝缩而被反射,从而,被位与其内表面的活性炭所吸附。
 
  4、温度计
 
  结构:①H2蒸汽压温度计:依据H2在不同温度时其饱和蒸汽压不同来进行测量转换(目前一般采用此种形式);②半导体温度计:热敏二极管。
 
  5、一级冷头
 
  主要用来凝缩水蒸汽。
 
  6、二级冷头
 
  主要用来凝缩N2、O2、Ar、CO2等饱和蒸汽压高的气体。
 
  7、冷冻机
 
  目前,冷凝泵中所使用的冷冻机有:①G-M循环冷冻机;②ModifiedSolvay循环冷冻机;③Sterling循环冷冻机。
 
  8、活塞连杆
 
  9、蓄冷器

 


 
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